超大规模集成电路工艺原理

（陈志华）SME3052025秋  
2025秋
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选课类别：专业任务 教学语言：双语
课程类别：专业核心课 开课单位：深港微电子学院
课程层次：本科 获得学分：3.0
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陈志华

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